С помощью электрометров нельзя измерить непосредственно плотность поверхностного заряда диэлектрических или фотопроводящих пленок. Ими измеряют только потенциал на поверхности пленки, созданный поверхностным зарядом. Если пленка располагается на заземленной проводящей подложке, то измеряется падение потенциала на пленке. Это падение потенциала связано с плотностью поверхностного заряда следующим уравнением: Точное измерение толщины тонкой диэлектрической пленки без разрушения образца представляет собой довольно трудную задачу. Если разрушение образца допустимо, можно использовать различные механические и оптические способы. При снятии небольших участков пленки без разрушения толщину удаленной части можно измерить точным механическим датчиком толщины. Если после удаления части пленки поверхность подложки остается чистой, для измерения высоты пленки над подложкой можно применить оптические и механические методы. В случае трудноудалимых пленок, например покрытия на бумаге, толщину можно определить по поперечному сечению с помощью микротома. Для измерений толщины без разрушения слоя разработаны различные способы и созданы приборы. В качестве примеров приведем электрические методы, основанные на измерении емкости или индуктивности, а также рассеяния проникающего излучения. Широкий обзор методов измерения толщины представлен в работе. С помощью точных измерений емкости и толщины можно вычислить диэлектрическую проницаемость из уравнения (в единицах системы МКСА)